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热式气体质量流量计
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FS1015CL气体流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产物采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS? 流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。产物测量范围可达150SLPM,ISO 15mm连接方式适用于各种医疗设备上微小流量测量。
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